제목 : SEMI 인증제도 (개정본)

SEMI의 산업표준규격은 세계반도체 장비 및 재료에 대한 가장 포괄적인 국제 표준규격입니다.

저희 스탠다즈앤드컴퍼니즈에서는 SEMI에 의한 반도체 장비 및 재료의 안전성 및 적합성 평가에 대한 서비스를 제공하고 있습니다.

SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 는 1970년에 미국 마운틴 뷰에서 설립된 세계 반도체 장비재료 산업 및 FPD 산업을 대표하는 국제 협회입니다. Wafer/FPD 생산 설비의 국제적인 통일성을 확보하며, 사용자의 건강과 안전을 도모하기 위해, 전 공정 장비 및 후 공정 장비의 환경적, 전기적, 기계적 안전성을 설계단계부터 검증하고, 평가하는 목적으로 제정된 국제적인 Guideline입니다.

주요 안전규격

SEMI S2: 반도체 생산 장비를 위한 환경, 보건 및 안전과 관련된 가이드라인

SEMI S6: 반도체 생산장비에서 배기시스템의 보건환경 안전을 위한 가이드라인

SEMI S8: 반도체 생산장비에서 인체공학적 원리를 적용한 안전 가이드라인

SEMI S23: 반도체 생산장비의 사용에 의한 에너지, 물질 등의 보존에 관한 가이드라인

2012.08.14